RSV系列
专为半导体中等，严苛制程使用 抽气速率：75-3000m³/h
采用一体型螺杆式设计，独特的轴承设计，极宽泛的温 度控制范围50-125摄氏度，可采用特殊高镍材质。
适应于大量粉尘，高腐蚀的半导体工艺制程
采用一体型螺杆式设计，独特的轴承设计，极宽泛的温 度控制范围50-125摄氏度，可采用特殊高镍材质。
适应于大量粉尘，高腐蚀的半导体工艺制程
项 目 机型 | 单位 | RSV100 | RSV200 | RSV700 | RSV1200 | RSV1800 | RSV3000 | |
抽气速率 Pumpspeed50/60) | L/min | 1666 | 3333 | 11666 | 20000 | 30000 | 50000 | |
M³/H | 100 | 200 | 700 | 1200 | 1800 | 3000 | ||
极限压力 UItimoate Pressure | Torr | 75×10³ | Z5×10⁴ | |||||
mbar | 1×10~² | 1×10³ | ||||||
Pa | 1 | 1×10- | ||||||
马达 Motor | 颜定功率 Rated power | KW | 4 | 5.5 | 6.2 | 8 | 8 | 15 |
底压功率 Uitimate Pressure Power | KW | 2.5 | 3 | 3.2 | 3.5 | 4 | 11 | |
管路连接 Connection | 入气口 Inlet | KF50 | KF50 | ISO100 | SO100 | ISO160 | ISO200 | |
出智 | KF40 | KF40 | KF40 | KF40 | KF50 | KF50 | ||
冷却水 Cooing water | 最 低 | L/MIN | 3 | 5 | ||||
最高压力 MaxPressure | kg/cm³ | 4 | ||||||
等rer | kg/cm³ | 1 | ||||||
湿度 Temp | ℃ | 10-40 | ||||||
ection | PT 3/8 | |||||||
氮气 ( 选 配 ) N2 | eure | Mpa | 0.05-0.2 | |||||
流量 How | slm | 6-10(Sealing gas) 0-50(Dilute)注 | ||||||
necten | Swagelok 1/4” | |||||||
尺寸Dim | 芒×案×高 | mm | 940×400×503 | 1192×444×650 | 900×400×744 | 1050×444×86 | 090×444×895 | 1150×460×560 |
重量Weight | kg | 270 | 330 | 380 | 555 | 730 | 710 | |