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RS泵组




单位

RS600

RS900

RS1200

RS1800

RS3000

RS5000

抽气速率Pump speed(50/60HZ)

L/Min

10000

15000

20000

30000

50000

83333

m³/h

600

900

1200

1800

3000

5000

极限压力 Ultimaate Pressure

Torr

7.5*10-4

mbar

1*10-3

Pa

1*10-1

马达 Motor

额定功率 Rated power

Kw

6.2

8

8

8

16.5

41.5

底压功率 Ultimate Pressure Power

Kw

2.5

3

3.2

3.5

7.3

11

管路连接 Connnection

入气口  Inlet


ISO100

ISO100

ISO100

ISO100

ISO150

ISO250

出气口  Outlet


NW25

NW40

NW40

NW40

ISO63

ISO63

最低流量 Min.Flow

L/Min

3

5

最高压力 Max.Pressure

kg/cm3

4

压力差 Pressure Dif.

kg/cm3

1

温度 Temp.

10-40

接头


Pt 3/8''


氮气(选配)  N2

压力 Pressure

Mpa

0.05-0.2

流量  Flow

slm

6-10(sealing gas)

0-50(Dilute)

接头 Connection


Swagelok 1/4''

尺寸

长*宽*高 L*W*H

mm







重量 Weight

Kg








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