RS单泵
单位 | RS100 | RS160 | RS250 | RS440 | RS650 | RS980 | ||
抽气速率Pump speed（50/60HZ） | L/Min | 1666 | 2666 | 4166 | 7333 | 10833 | 16333 | |
m³/h | 100 | 160 | 250 | 440 | 650 | 980 | ||
极限压力 Ultimaate Pressure | Torr | 7.5*10-3 | ||||||
mbar | 1*10-2 | |||||||
Pa | 1 | |||||||
马达 Motor | 额定功率 Rated power | Kw | 4 | 4 | 7.5 | 11 | 15 | 30 |
底压功率 Ultimate Pressure Power | Kw | 2.2 | 3 | 5 | 6 | 7.3 | 11 | |
管路连接 Connnection | 入气口 Inlet | KF40 | KF50 | KF50 | ISO63 | ISO63 | DN100 | |
出气口 Outlet | NW25 | NW40 | KF50 | KF50 | KF50 | DN65 | ||
最低流量 Min.Flow | L/Min | 3 | 5 | |||||
最高压力 Max.Pressure | kg/cm3 | 4 | ||||||
压力差 Pressure Dif. | kg/cm3 | 1 | ||||||
温度 Temp. | ℃ | 10-40 | ||||||
接头 | Pt 3/8'' | |||||||
氮气（选配） N2 | 压力 Pressure | Mpa | 0.05-0.2 | |||||
流量 Flow | slm | 6-10（sealing gas） | ||||||
0-50（Dilute） | ||||||||
接头 Connection | Swagelok 1/4'' | |||||||
尺寸 | 长*宽*高 L*W*H | mm | ||||||
重量 Weight | Kg | |||||||