抽气速率Pump speed（50/60HZ）

L/S

27/33

55/70

66/84

104/125

150/180

185/222

277/333

m³/h

100/120

200/250

240/300

375/450

540/650

667/800

1000/1200

极限压力 Ultimaate Pressure

Torr

7.5*10-3

mbar

1*10-2

Pa

1

马达 Motor

额定功率 Rated power

Kw

4

5.5

7.5

11

15

18.5

30

底压功率 Ultimate Pressure Power

Kw

3.5

6.2

6.2

6

7.3

7.9

11

管路连接 Connnection

入气口  Inlet

DN50

DN50

DN65

DN65

DN65

DN100

DN100

出气口  Outlet

DN40

DN50

DN50

DN50

DN50

DN63

DN65

最低流量 Min.Flow

L/Min

3

最高压力 Max.Pressure

kg/cm3

4

压力差 Pressure Dif.

kg/cm3

1

温度 Temp.

℃

10-40

接头

Pt 3/8''

Pt 1/2''

氮气（选配）  N2

压力 Pressure

Mpa

0.05-0.2

流量  Flow

slm

6-10（sealing gas）

0-50（Dilute）

接头 Connection

Swagelok 1/4''

尺寸

长*宽*高 L*W*H

mm

重量 Weight

Kg