抽气速率Pump speed（50/60HZ）

L/S

22/26

42/50

66/83

m³/h

80/96

150/180

240/300

极限压力 Ultimaate Pressure

Torr

7.5*10-3

mbar

1*10-2

Pa

1

马达 Motor

额定功率 Rated power

Kw

4

5.5

7.5

底压功率 Ultimate Pressure Power

Kw

3.5

6.2

6.2

管路连接 Connnection

入气口  Inlet

DN50

DN50

DN65

出气口  Outlet

DN40

DN50

DN50

最低流量 Min.Flow

L/Min

3

最高压力 Max.Pressure

kg/cm3

4

压力差 Pressure Dif.

kg/cm3

1

温度 Temp.

℃

10-40

接头

Pt 3/8''

氮气（选配）  N2

压力 Pressure

Mpa

0.05-0.2

流量  Flow

slm

6-10（sealing gas）

0-50（Dilute）

接头 Connection

Swagelok 1/4''

尺寸

长*宽*高 L*W*H

mm

重量 Weight

Kg